SENS4真空傳感器、真空計和控制器|VDM-2 陶瓷隔膜、使用堅固且耐腐蝕的氧化鋁隔膜提供高精度真空壓力測量

SENS4真空傳感器、真空計控制器|VDM-2 陶瓷隔膜、使用堅固且耐腐蝕的氧化鋁隔膜提供高精度真空壓力測量

真空測量產(chǎn)品

為您的應用找到理想的真空傳感器

無論您是需要用于工業(yè)流程、研究實驗室還是專業(yè)高科技應用的高精度真空傳感器,我們的選擇工具都可以幫助您通過真空傳感器類型、壓力范圍和接口確定最佳解決方案。

從全系列的數(shù)字真空計、真空傳感器和真空控制器中進行選擇,根據(jù)您的確切規(guī)格(包括連接類型、輸出信號和精度要求)進行定制。Sens4 提供可靠耐用的真空測量解決方案,專為在苛刻的環(huán)境中運行而設計

VDM-2 陶瓷隔膜

VDM-2 陶瓷隔膜真空傳感器使用堅固且耐腐蝕的氧化鋁隔膜提供高精度真空壓力測量,該隔膜與施加的壓力成比例彎曲。壓阻式傳感器元件的核心是確保在各種真空應用中進行準確穩(wěn)定的測量。

與依賴充油傳感器元件的傳統(tǒng)不銹鋼隔膜壓電真空傳感器不同,VDM-2 采用清潔、干燥的陶瓷壓電隔膜傳感器,完全消除了敏感真空系統(tǒng)中油污染的風險。

VDM-2 專為多功能性而設計,可測量氣體壓力,不受氣體類型或成分的影響,使其成為半導體加工、分析儀器、工業(yè)真空系統(tǒng)等應用的理想解決方案。

電容式隔膜真空計的替代品

電容式隔膜真空計用于許多真空應用中,用于高級過程的測量和控制。VDM-2 傳感器是傳統(tǒng) 1000 Torr/mbar 滿量程電容膜片真空計 (CDG) 的一種經(jīng)濟高效且緊湊的替代品。

VDM-2 使用陶瓷隔膜的測量范圍

專為惡劣的真空環(huán)境而設計

VDM-2 真空傳感器專為存在腐蝕性氣體、腐蝕性化學品或惡劣工藝條件的苛刻真空應用而設計。其陶瓷氧化鋁隔膜對各種溶劑、酸和反應性化合物具有出色的耐腐蝕性,確保在具有挑戰(zhàn)性的環(huán)境中具有長期可靠性。

為了獲得更好的保護,VDM-2 可選配聚對二甲苯涂層——一種高度耐腐蝕和疏水性的聚合物屏障。聚對二甲苯廣泛用于醫(yī)療應用,包括過氧化氫等離子體滅菌凍干,在這些應用中,耐用性和抗污染性至關重要。

在易受顆粒污染的真空過程中,可選的保護擋板可防止顆粒沉積在傳感器隔膜上,從而保證測量精度和傳感器使用壽命。

氧化鋁傳感器元件專為彈性而設計,可承受高達 2 bar 絕對壓力 (29 psia) 的突然通風和超壓條件,使其成為工業(yè)、制藥和半導體環(huán)境中高應力真空系統(tǒng)的理想選擇。

VDM-2 帶擋板的傳感器,適用于惡劣環(huán)境
VDM-2 帶保護擋板的陶瓷膜片傳感器

靈活的模擬電壓輸出,用于壓力讀數(shù)和控制

VDM-2 真空傳感器具有高分辨率模擬電壓輸出,可直接連接到外部顯示器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)、PLC 或過程控制設備,以進行實時真空壓力監(jiān)測。

VDM-2 與各種系統(tǒng)兼容,提供多個預配置的模擬輸出曲線,允許無縫替換不同制造商的真空計,從而最大限度地減少設置時間和集成工作量。

對于定制應用,模擬輸出也可以由用戶配置任意線性縮放,從而提供最大的靈活性來匹配特定的系統(tǒng)要求或控制策略。

 

VDM-2 模擬電壓輸出

RS-232 和 RS-485 的數(shù)字接口,可實現(xiàn)可靠的真空數(shù)據(jù)傳輸

VDM-2 真空傳感器具有集成的?RS-232 和 RS-485 數(shù)字接口,可確保在長距離電纜上可靠、無噪聲地傳輸真空測量數(shù)據(jù),而不會造成信號衰減或受到電噪聲的干擾。

該數(shù)字通信接口支持高級功能,如實時壓力監(jiān)測、診斷、預測性維護、校準、服務狀態(tài)、設定點配置和模擬輸出縮放。這些功能可以增強系統(tǒng)控制并簡化與現(xiàn)代真空系統(tǒng)的集成。

即使模擬輸出配置為有限范圍(例如,100 Torr 滿量程),數(shù)字輸出仍可繼續(xù)提供高達?1333 mbar (1000 Torr) 的準確全范圍真空壓力讀數(shù),為監(jiān)測和控制提供最大的靈活性。

 

將數(shù)字式真空傳感器連接到 VDM-2 真空傳感器

用于高級真空系統(tǒng)控制可靠固態(tài)繼電器

VDM-2 真空傳感器配有三個獨立的固態(tài)開關繼電器,用于直接控制真空泵、閥門和安全聯(lián)鎖電路等外部設備。這些集成輸出可在要求苛刻的真空控制應用中實現(xiàn)無縫自動化和實時系統(tǒng)響應。

與傳統(tǒng)的機電繼電器相比,固態(tài)繼電器提供更快的開關速度、更高的可靠性和無電弧運行,同時消除開關過程中的電磁干擾 (EMI),非常適合精密和噪聲敏感環(huán)境。

VDM-2 的繼電器經(jīng)久耐用,經(jīng)過 UL 認證、CSA 認證,并通過了?EN/IEC 60950-1 標準認證,確保在關鍵真空過程和高循環(huán)工業(yè)應用中的長期性能和安全性。

 

VDM-2 設定值控制
VDM-2 陶瓷隔膜真空計,可實現(xiàn)其他供應商的直接兼容性

與其他供應商的真空計兼容 – 直接替換真空傳感器

Sens4 的直接替換真空傳感器經(jīng)過精心設計,可與其他供應商的真空計完全兼容,具有連接器引腳兼容性,無需重新布線即可無縫安裝。

這些高性能傳感器模擬了領先制造商的等效真空計型號的模擬輸出縮放和測量范圍,確保整個系統(tǒng)的性能準確一致。

此外,Sens4 真空傳感器支持數(shù)字協(xié)議仿真,無需更改通信軟件即可與現(xiàn)有真空控制器、電源和顯示裝置實現(xiàn)即插即用集成。這使它們成為需要互作性的真空系統(tǒng)升級、更換和 OEM 集成的理想選擇。

 

定制的真空傳感器設置 – 為您的應用量身定制

VDM-2 真空傳感器可在工廠進行配置,以滿足您的特定應用要求,確保最佳性能和開箱即用的無縫集成。自定義配置選項包括:

  • 測量范圍
  • 真空壓力單位(例如 mbar、Torr、Pa)
  • 設定點配置
  • 輸出信號縮放

這些預配置的傳感器非常適合尋求即插即用安裝且設置時間最短的 OEM 和系統(tǒng)集成商。

每個定制的 VDM-2 裝置都分配有一個唯一的零件編號,從而簡化了未來的重新訂購并確保了整個真空系統(tǒng)的一致性。

應用和市場

VDM-2 陶瓷隔膜真空傳感器專為在苛刻的工業(yè)和科學環(huán)境中進行高精度真空測量和控制而設計。它專為長期穩(wěn)定性和可靠性而設計,支持多個領域的廣泛真空應用

典型應用包括:

  • 半導體制造
  • 實驗室研究和儀器
  • 工業(yè)真空系統(tǒng)
  • 分析和工藝設備
  • 泄漏檢測和質量控制

為了滿足不同的性能和集成需求,我們還提供了廣泛的?VDM-2 真空傳感器配置,從而可以輕松找到適合您特定過程要求的解決方案


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