代理Logosol LPA812-1E-V76P1-S23-S Prealigners尋邊臺
LOGOSOL LPA SERIES?PREALIGNERS產(chǎn)品選型:
LOGOSOL主要產(chǎn)品系列及型號
LOGOSOL預對準器按應(yīng)用場景分為三大系列:
1.LOGOSOL 邊緣處理系列(Edge-Grip)
技術(shù)特點:
被動邊緣接觸技術(shù),零機械應(yīng)力,避免晶圓損傷。
支持透明度從不透明到全透明的晶圓1。
適用尺寸:75mm–300mm晶圓。
典型型號:
LPA6EH-3
,?LPA8EH-3
,?LPA68EH-3
,?LPA8ET-3
,?LPA12ET-3
,?LPA812EH-3
。應(yīng)用場景:碳化硅/氮化鎵晶圓制造、高潔凈度要求的化合物半導體生產(chǎn)線。
2. LOGOSOL獨立式系列(Standalone)
技術(shù)特點:
單機處理方形、雙層基板及圓形晶圓,支持45mm–480mm超大尺寸范圍。
無需機械重定位,通過軟件切換尺寸,提升柔性生產(chǎn)效率。
LOGOSOL典型型號:
LPA26-3
,?LPA38-3
,?LPA58-3
,?LPA312-3
,?LPA812-3
,?LPA1218-3
。應(yīng)用場景:研發(fā)實驗室、多尺寸晶圓試產(chǎn)線、光伏基板定位。
3. LOGOSOL嵌入式系列(Embedded)
技術(shù)特點:
專為高速晶圓傳輸系統(tǒng)優(yōu)化,低成本集成中心計算與角度定位功能。
提供高精度選件及定制夾具尺寸,兼容主流工業(yè)機器人。
LOGOSOL典型型號:
LPA25-1E
,?LPA38-1E
,?LPA58-1E
,?LPA312-1E
,?LPA812-1E
,?LPA1218-1E
。應(yīng)用場景:半導體量測設(shè)備(如日立CD-SEM)、自動化晶圓搬運系統(tǒng)改造
Logosol Logosol LPA Logosol LPA12ET-3 Logosol LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V Logosol LPA26-3 Logosol LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P Logosol LPA58-3 Logosol LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58 Logosol LPA312-1E Logosol LPA312-3 Logosol LPA312-3-SE Logosol LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P Logosol LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P-CT06 Logosol LPA812-1E-V76P1-S23-S Logosol LPA812-3 Logosol LPA1218-1E Logosol LPA1218-3 Logosol Prealigners Logosol Prealigners尋邊臺 Logosol代理 Logosol對準器 LOGOSOL總代 Logosol控制器 Logosol晶圓 Logosol晶圓處理平臺 Logosol預對準器 Prealigners尋邊臺 美國Logosol