使用真空腔的用戶，經(jīng)常聽到殘余氣體分析，那么殘余氣體分析究竟是什么？需要怎么來分析呢？

在真空腔中，會(huì)有各類殘余氣體，這些殘余氣體可能會(huì)影響到用戶的實(shí)驗(yàn)，所以，在抽完真空之后，需要檢測(cè)真空腔中是否有超標(biāo)的殘余氣體。

檢測(cè)殘余氣體，最常用的就是RGA殘余氣體分析儀。

RGA的三個(gè)基本組成部分;

離子源 — 離子源用于將空間中的氣體轉(zhuǎn)化為離子。從熱燈絲發(fā)射的電子利用電偏壓加速?？焖僖苿?dòng)的電子與氣體分子碰撞，將氣體電離。

離子過濾器（四極杠）– 在給定條件下只有特定的離子能“穿”過四級(jí)桿到達(dá)探測(cè)器。

檢測(cè)器 — 穿過過濾器的離子與法拉第杯的金屬板碰撞收集。隨著電子轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，離子被中和,形成離子的電流。