電鍍用晶圓夾具(WEDC)確保電鍍金屬的均勻性

idonus電鍍用晶圓夾具WEDC)確保電鍍金屬的均勻性。在WEDC的中心,設(shè)有一個(gè)銅環(huán)電極,確保與晶圓之間具有良好的電接觸。

一般信息

晶圓與電極之間的電接觸對(duì)電鍍金屬的沉積均勻性有很大影響。我們的電鍍用晶圓夾具配備了環(huán)形電極,確保與晶圓之間最佳的電接觸。晶圓的背面不與電解液接觸,因此避免了來(lái)自浴槽的任何污染??梢灾圃爝m用于任何晶圓尺寸的夾具,也可以制造單片芯片夾具。

產(chǎn)品描述

該夾具由晶圓支架和集成環(huán)形電極的夾緊環(huán)組成。晶圓放置在支架上,通過(guò)夾緊環(huán)固定,夾緊環(huán)通過(guò)螺絲與夾具連接。電連接通過(guò)夾緊環(huán)與晶圓完成。
三個(gè)精密密封環(huán)確保晶圓的無(wú)泄漏夾緊。支架上的用戶定義凹槽最小化夾緊晶圓時(shí)的應(yīng)力。
夾具采用PEEK材料制造,對(duì)大多數(shù)微加工中使用的電解液具有很強(qiáng)的耐受性。電源連接通過(guò)一根150厘米長(zhǎng)的電纜,配有BNC或用戶定義的連接器。
每個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景都不同。我們很樂(lè)意為您設(shè)計(jì)定制夾具,以提高您的實(shí)驗(yàn)結(jié)果!

技術(shù)規(guī)格


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